Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 1995, Vol.7 (4), p.286-292
Hauptverfasser:	Schiller, S., Goedicke, K., Kirchhoff, V., Metzner, Ch
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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