Characteristics of passive Taresistive planes embedded in Alsheet PCB compatible for integrated MCMsubstrates or packaging carriers
Recent progress in the investigation of the material parameters of AlAl2O3systems leads to an increase in the possibilities for using embedded TaOXN1X layers. The use of Alsheets as mechanical strength carriers in combination with vacuumdeposited Allayers and electrochemically anodized Al2O3 structu...
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Veröffentlicht in: | Microelectronics international 1999-04, Vol.16 (1), p.18-20 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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