Chemical vapour deposition of thin-film dielectrics

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Russian chemical reviews 2005-05, Vol.74 (5), p.413-441
Hauptverfasser:	Vasilev, Vladislav Yu, Repinsky, Sergei M
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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