Possibilities and limitations of ion implantation in diamond, and comparison with other doping methods

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Physics Uspekhi 1994-04, Vol.37 (4), p.407-411
1. Verfasser: Vavilov, V S
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1063-7869
1468-4780
DOI:10.1070/PU1994v037n04ABEH000023