Physics and technology of submicron structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Soviet physics. Uspekhi 1989-09, Vol.32 (9), p.834-834
1. Verfasser: Idlis, B G
Format: Artikel
Sprache:eng
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0038-5670
2169-5296
DOI:10.1070/PU1989v032n09ABEH002763