Room temperature fabrication and post-annealing treatment of amorphous Ga2O3 photodetectors for deep-ultraviolet light detection

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Applied physics express 2022-02, Vol.15 (2)
Hauptverfasser:	Zhang, Tan, Guan, Denggao, Liu, Ningtao, Zhang, Jianguo, Zhang, Jinfu, Guo, Chenyu, Qiu, Mengting, Yuan, Qilong, Zhang, Wenrui, Ye, Jichun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	deep-ultraviolet photodetector gallium oxide oxygen vacancy post-annealing sputtering
Online-Zugang:	Volltext
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