Phase control of heterogeneous Hf x Zr(1−x)O2 thin films by machine learning

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Japanese Journal of Applied Physics 2022-06, Vol.61 (SH)
Hauptverfasser:	Ni, Zeyuan, Matsui, Hidefumi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Bayesian optimization crystal phase control HfZrO high-k materials informatics
Online-Zugang:	Volltext
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