Patterning of Sin and SiO2 Nanostructures for 3D Electronic Devices at Low Temperatures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2024-11, Vol.MA2024-02 (20), p.1797-1797
Hauptverfasser:	Lill, Thorsten, Barsukov, Yuri, Oh, Youn-Jin, Kaganowich, Igor, Singh, Harmeet
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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