(Invited) Material Engineering for the GAA and Post-GAA Transistors and Interconnects

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Meeting abstracts (Electrochemical Society) 2024-08, Vol.MA2024-01 (30), p.1499-1499
Hauptverfasser: Moroz, Victor, Smidstrup, Soren, Choi, Munkang, Gull, Ronald, Aboud, Shela
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:2151-2035
DOI:10.1149/MA2024-01301499mtgabs