Effects of H2O2 and pH on the Chemical Mechanical Planarization of Molybdenum

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS journal of solid state science and technology 2021-09, Vol.10 (9)
Hauptverfasser:	Ryu, Heon-Yul, Teugels, Lieve, Devriendt, Katia, Struyf, Herbert, Kim, Tae-Gon, Park, Jin-Goo
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	chronoamperometry CMP hydrogen peroxide molybdenum
Online-Zugang:	Volltext
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