Atomic vs. sub-atomic layer deposition: impact of growth rate on the optical and structural properties of MoS2 and WS2

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	2d materials 2024-04, Vol.11 (2)
Hauptverfasser:	Tessarek, Christian, Grieb, Tim, Krause, Florian F, Petersen, Christian, Karg, Alexander, Hinz, Alexander, Osterloh, Niels, Habben, Christian, Figge, Stephan, Krisponeit, Jon-Olaf, Schmidt, Thomas, Falta, Jens, Rosenauer, Andreas, Eickhoff, Martin
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	atomic layer deposition growth rate MoS photoluminescence spectroscopy Raman spectroscopy transmission electron microscopy
Online-Zugang:	Volltext
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