Traceable quantitative analysis of Ag x Cu1−x alloy films by ID ICP-MS, RBS and MEIS

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Metrologia 2021-12, Vol.58 (6)
Hauptverfasser:	Kim, Tae Gun, Heo, Sung Woo, Min, Won Ja, Han, Tae-Hun, Yim, Yong-Hyeon, Yu, Hyunung, Kim, Kyung Joong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	ID ICP-MS MEIS quantitative analysis RBS traceability
Online-Zugang:	Volltext
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