Fabrication and characterization of Al-Mn superconducting films for applications in TES bolometers Project supported by the National Natural Science Foundation of China (Grant Nos. 11653001 and 11653004)

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chinese physics B 2021-07, Vol.30 (7)
Hauptverfasser:	Yu, Qing, Zhang, Yi-Fei, Zhao, Chang-Hao, He, Kai-Yong, Huang, Ru-Tian, He, Yong-Cheng, Wu, Xin-Yu, Liu, Jian-She, Chen, Wei
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Al-Mn superconducting films annealing process deposition process superconducting transition edge sensor
Online-Zugang:	Volltext
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