Room temperature-deposited silver oxide (AgxO) films by dc magnetron sputtering with high sputtering power density: Impact of flow rate ratio of O2 to Ar gases on microstructure pattern, optical and electrical behaviors

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physica scripta 2021-11, Vol.96 (12)
Hauptverfasser:	Li, Binqi, Gao, Xiaoyong
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	electrical properties magnetron sputtering microstructure optical properties silver oxide
Online-Zugang:	Volltext
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