The effect of Ar:O2 gas ratios on the structural and optical properties of RF sputter-deposited La2O3-doped ZnO thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 2023-11, Vol.38 (11)
Hauptverfasser:	Pilli, S R, Sowjanya, M, Shariq, Mohammad, Altowairqi, Y, Sabina, D, Althagafi, Talal M, Al-Gethami, Wafa, Alasmari, Aeshah, Alshehri, Khairiah, Alhazmi, Noura E, Ali, Syed Kashif
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	AFM optical properties photoluminescence RF sputtering thin film ZnO
Online-Zugang:	Volltext
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