Interface control and electron transport in ALD ZnO/Al2O3 TFTs studied by gated Hall effect
Gespeichert in:
Veröffentlicht in: | Semiconductor science and technology 2021-07, Vol.36 (7) |
---|---|
Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | |
---|---|
ISSN: | 0268-1242 1361-6641 |
DOI: | 10.1088/1361-6641/abf663 |