Interface control and electron transport in ALD ZnO/Al2O3 TFTs studied by gated Hall effect

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Semiconductor science and technology 2021-07, Vol.36 (7)
Hauptverfasser: Anders, J, Leedy, K, Kazimierczuk, M, Schuette, M
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0268-1242
1361-6641
DOI:10.1088/1361-6641/abf663