Energy efficiency of voltage waveform tailoring for the generation of excited species in RF plasma jets operated in He/N2 mixtures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Plasma sources science & technology 2021-09, Vol.30 (9)
Hauptverfasser:	Korolov, I, Donkó, Z, Hübner, G, Liu, Y, Mussenbrock, T, Schulze, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	atmospheric pressure COST-jet energy efficiency power measurements voltage waveform tailoring
Online-Zugang:	Volltext
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