Miniaturized rotating magnetic field–driven plasma system: proof-of-concept experiments
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Veröffentlicht in: | Plasma sources science & technology 2021-06, Vol.30 (6), p.65003 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | |
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ISSN: | 0963-0252 1361-6595 |
DOI: | 10.1088/1361-6595/ab9b34 |