Miniaturized rotating magnetic field–driven plasma system: proof-of-concept experiments

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Plasma sources science & technology 2021-06, Vol.30 (6), p.65003
Hauptverfasser: Sun, Y, Levchenko, I, Lim, J W M, Xu, L, Huang, S, Zhang, Z, Thio, F, Potrivitu, G-C, Rohaizat, M W A B, Cherkun, O, Chan, C S, Baranov, O, Bazaka, K, Xu, S
Format: Artikel
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0963-0252
1361-6595
DOI:10.1088/1361-6595/ab9b34