Co-deposition of MoS2 films by reactive sputtering and formation of tree-like structures

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2022-08, Vol.33 (34)
Hauptverfasser:	Kim, Myeongok, Giteau, Maxime, Ahsan, Nazmul, Miyashita, Naoya, Thirumalaisamy, Logu, Chen, Chen, Redwing, Joan M, Okada, Yoshitaka
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	MoS reactive sputtering sulfur partial pressure transition metal dichalcogenides
Online-Zugang:	Volltext
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