Biaxial film bulk acoustic resonator magnetic sensor based on the Fe80Ga20 anisotropic ΔE effect

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Veröffentlicht in:	Journal of physics. D, Applied physics Applied physics, 2022-03, Vol.55 (13)
Hauptverfasser:	Yun, Xiaofan, Lin, Wenkui, Hu, Rui, Wang, Xiaoyi, Zeng, Zhongming, Zhang, Xinping, Zhang, Baoshun
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	anisotropy Δ biaxial effect FBAR magnetic sensor
Online-Zugang:	Volltext
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