Gas-compensated thermal flow sensor using an integrated velocity-independent gas properties meter

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2025-01, Vol.35 (1)
Hauptverfasser:	Azadi Kenari, S, Wiegerink, R J, Sanders, R G P, Lötters, J C
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	method thermal conductivity thermal flow sensor volumetric heat capacity
Online-Zugang:	Volltext
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