Electric field sensing characteristics of ZnO/SiO2/Si surface acoustic wave devices

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2022-05, Vol.32 (5)
Hauptverfasser:	Liu, Zhirong, Zhu, Min, Xu, Caihua, Bao, Wenqi, Xie, Liqiang, Zhang, Haitao, Han, Yueqi
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	electric field sensor multilayer structure surface acoustic wave ZnO
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!