Equivalent circuit model for the damping of micro-oscillators from molecular to viscous flow regime

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of micromechanics and microengineering 2021-09, Vol.31 (9), p.95010
Hauptverfasser:	Zengerle, T, Joppich, J, Lensch, H, Ababneh, A, Seidel, H
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	aluminium nitride equivalent circuit model micro-oscillator molecular damping viscous damping
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!