Micromachining at the NSLS: New equipment, new directions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Synchrotron radiation news 1999-09, Vol.12 (5), p.23-24
Hauptverfasser:	Ramotowski, M. R., Johnson, Erik D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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