A gas detection system on a single CMOS chip compromising capactive, calorimetric, and mass-sensitive microsensors

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hagleitner, C., Lange, D., Kerness, N., Hierlemann, A., Brand, O., Baltes, H.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Capacitive sensors Capacitors Finite impulse response filter Gas detectors Power amplifiers Power measurement Sensor arrays Sensor phenomena and characterization Sensor systems Temperature sensors
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1109/ISSCC.2002.992290