Vacuum Chemical Epitaxial Growth of High Quality Gaas Films Using Dimethylamine Gallane

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Malocsay, E., Fraas, L.M., Sundaram, V.S.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Aluminum Carbon compounds Chemicals Conductivity Epitaxial growth Gallium arsenide Inductors MOCVD Molecular beam epitaxial growth Photoluminescence
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1109/MOVPE.1992.664847