Characterization of Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition with Vertical-capacitor Electrodes

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Kwang Bae Lee, Byung Roh Rhee, Chong Tak Kim, Jin Jang
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cathodes Chemical vapor deposition Diamond-like carbon Electrodes Hydrogen Optical films Plasma chemistry Plasma measurements Stimulated emission Voltage
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!