Characterization of Diamond-Like Carbon Films Prepared by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition with Vertical-capacitor Electrodes

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Kwang Bae Lee, Byung Roh Rhee, Chong Tak Kim, Jin Jang
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cathodes Chemical vapor deposition Diamond-like carbon Electrodes Hydrogen Optical films Plasma chemistry Plasma measurements Stimulated emission Voltage
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1109/IVMC.1997.627625