Preparation of Ultrasharp Diamond Tip Emitters by Ion Beam Etching

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Stepanova, A.N., Givargizov, E.I., Bormatova, L.V., Zhirnov, V.V., Mashkova, E.S., Molchanov, A.V.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Coatings Crystallography Etching Ion beams Low voltage Microelectronics Milling Nuclear physics Robustness Silicon
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