Design Rule Related Defects Formation

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Hsieh, Y.F., Tsui, B.Y.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Amorphous materials CMOS technology Crystalline materials Density measurement Electronics industry Implants Industrial electronics Ion implantation Leakage current Microelectronics
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!