Reduction Of Electron Shading Damage With Pulse-modulated ECR Plasma

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Sakamori, S., Maruyama, T., Fujiwara, N., Miyatake, H., Yoneda, M.
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:10.1109/PPID.1997.596689