Low thermal budget 6 nm furnace N2O-nitrided gate oxides

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Paulzen, G.M., Hutten, E.K.H., Meyssen, V.M.H
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Area measurement Capacitors Charge measurement Current measurement Design for quality Electric breakdown Furnaces MOSFETs Nitrogen Oxidation
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