A Silicon technology for active high frequency circuits

Monolithic integrated IMPATT diodes are manufactured as millimeter wave power generators in slot line resonator-antennas. Silicon molecular beam epitaxy (Si-MBE) is used for the growth of the active layers. A fabrication process with a self stopping etchant, self aligned contacts, silicon nitride pa...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ESSDERC '92: 22nd European Solid State Device Research conference 1992, Vol.19 (1), p.717-720
Hauptverfasser:	Strohm, K.M., Buechler, J., Luy, J.-F., Schäffler, F.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Diodes Fabrication Frequency Integrated circuit technology Manufacturing Millimeter wave technology MIMICs Molecular beam epitaxial growth Power generation Silicon
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