Medical applications of MEMS

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Maluf, N.I., Gee, D.A., Petersen, K.E., Kovacs, G.T.A.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Biomedical equipment Biomedical monitoring Biosensors Chemical and biological sensors Costs Medical services Micromachining Micromechanical devices Sensor arrays Silicon
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