CMOS Devices - Metal Gate & High-K Gate Dielectric

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Yoon, Jong Shik, Thean, Aaron
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	CMOS technology High K dielectric materials High-K gate dielectrics Inorganic materials Paper technology Physics Semiconductor materials Transistors
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