Development of a single ion detection system for the implantation of donors with nanoscale precision

The authors have developed a technique which enables the implantation and detection of single low-energy (

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hopf, T., Yang, C., Jamieson, D.N., Tamanyan, G., Andresen, S.E., Gauja, E., Dzurak, A.S., Clark, R.G.
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:The authors have developed a technique which enables the implantation and detection of single low-energy (
ISSN:2150-3591
2150-3605
DOI:10.1109/ICONN.2006.340679