Performance degradation effects in FBAR filters and resonators due to lamb wave modes

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ruby, R.C., Larson, J.D., Fazzio, R.S., Feng, C.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Degradation Energy measurement Film bulk acoustic resonators Frequency measurement Pistons Q measurement Reflection Resonance Resonator filters Switches
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