An Ultra-Thin Polycrystalline-Silicon Thin-Film Transistor with SiGe Raised Source/Drain

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Peng, D.-Z., Shih, P.-S., Zan, H.-W., Liao, T.-S., Chang, C.-Y.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Exact sciences and technology Germanium silicon alloys Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology) Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Silicon germanium Thin film transistors Transistors
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