Dielectric pockets - a new concept of the junctions for deca-nanometric CMOS devices

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Jurczak, M., Skotnicki, T., Monfray, S., Gwoziecki, R., Paoli, M., Tormen, B., Ribot, P., Dutartre, D., Galvier, J.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	CMOS technology Dielectric devices Dielectric substrates Doping Epitaxial growth Etching Microelectronics MOS devices Telecommunications Threshold voltage
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