Recent Progress with Vertical Transistors

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Risch, L., Aeugle, T., Rosner, W.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	CMOS logic circuits CMOS technology Doping Epitaxial growth Lithography Low voltage MOSFETs Production Random access memory Transistors
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1109/ESSDERC.1997.194377