VB-6 a laser-induced ohmic link for wafer-scale integration in standard CMOS processing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	IEEE transactions on electron devices 1986-11, Vol.33 (11), p.1861-1861
Hauptverfasser:	Canter, J.M., Chapman, G.H., Mathur, B., Naiman, M.L., Raffel, J.I.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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