Construction of the equivalent circuit of elementary volume of space for biasing plasmas

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Klimov, K.N., Kamyshev, T.V., Sestroretskij, B.V., Ruchenkov, V.A., Vershkov, V.A., Soldatov, S.V.
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Electromagnetic analysis Electromagnetic scattering Equivalent circuits Frequency Magnetic fields Maxwell equations Plasma density Plasma waves Tensile stress Voltage
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