Guest Editorial Special Section on Sustainability

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	IEEE transactions on semiconductor manufacturing 2024-11, Vol.37 (4), p.418-421
Hauptverfasser:	Patterson, Oliver D., Brozek, Tomasz, Balamukundhan, Kaushik, Fried, David M., Nehrer, Bill, Ramarajan, Suresh
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Semiconductor device manufacture Special issues and sections Sustainable development
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!