Importance of layer distribution in Ni and Au based ohmic contacts to p-type GaN

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Microelectronic engineering 2023-05, Vol.277
Hauptverfasser:	Mauduit, Clément, Tlemcani, Taoufik Slimani, Zhang, Meiling, Yvon, Arnaud, Vivet, Nicolas, Charles, Matthew, Gwoziecki, Romain, Alquier, Daniel
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences Materials Micro and nanotechnologies Microelectronics Physics
Online-Zugang:	Volltext
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