Morphologies and optical properties of black silicon by room temperature reactive ion etching

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Materials research bulletin 2020-11, Vol.131
Hauptverfasser:	Atteia, François, Le Rouzo, Judikaël, Denaix, Lou, Duché, David, Berginc, Gérard, Simon, Jean Jacques, Escoubas, Ludovic
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences
Online-Zugang:	Volltext
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