Gas effect on the emission and detection of the backscattered electrons in a VP-SEM at low energy

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ultramicroscopy 2018-01, Vol.184, p.17-23
Hauptverfasser:	Hafsi, Z., Mansour, O., Kadoun, A., Khouchaf, L., Mathieu, C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Physics
Online-Zugang:	Volltext
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