Lithographically Defined Cross-Linkable Top Coats for Nanomanufacturing with High-χ Block Copolymers

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ACS applied materials & interfaces 2021-03, Vol.13 (9), p.11224-11236
Hauptverfasser:	Chevalier, Xavier, Gomes Correia, Cindy, Pound-Lana, Gwenaelle, Bézard, Philippe, Sérégé, Matthieu, Petit-Etienne, Camille, Gay, Guillaume, Cunge, Gilles, Cabannes-Boué, Benjamin, Nicolet, Célia, Navarro, Christophe, Cayrefourcq, Ian, Müller, Marcus, Hadziioannou, Georges, Iliopoulos, Ilias, Fleury, Guillaume, Zelsmann, Marc
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!