The critical role of N-vacancy on chemical composition fluctuations and degradation of InAlN layer

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of applied physics 2019-06, Vol.125 (21)
Hauptverfasser: Mohamad, Ranim, Chauvat, Marie Pierre, Kret, Slawomir, Gamarra, Piero, Delage, Sylvain, Hounkpati, Viwanou, Lacam, Cedric, Chen, Jun, Ruterana, Pierre
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0021-8979
1089-7550
DOI:10.1063/1.5088109