Influence of film thickness and Ar N2 plasma gas on the structure and performance of sputtered vanadium nitride coatings

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Veröffentlicht in:	Surface & coatings technology 2019-11, Vol.378, p.124948, Article 124948
Hauptverfasser:	Aissani, Linda, Alhussein, Akram, Nouveau, Corinne, Ghelani, Laala, Zaabat, Mourad
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Engineering Sciences Mechanics Mechanics of materials Physics Plasma Physics
Online-Zugang:	Volltext
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