Characterization of silicon-on-sapphire material and devices for radio frequency applications

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of the Electrochemical Society 2001-04, Vol.148 (4), p.G218-G224
Hauptverfasser:	MUNTEANU, D, CRISTOLOVEANU, S, ROZEAU, O, JOMAAH, J, BOUSSEY, J, WETZEL, M, DE LA HOUSSAYE, P, LAGNADO, I
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Applied sciences Electronics Engineering Sciences Exact sciences and technology Micro and nanotechnologies Microelectronics Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices Transistors
Online-Zugang:	Volltext
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